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マイクロ電気機械システム（MEMS）
このような半導体チップ内の流体センサー、ミラー、アクチュエータ、圧力および温度センサー、振動センサーやバルブなどの機械装置を埋め込む技術。
- Part of Speech: noun
- Industry/Domain: Software
- Category: Globalization software service
- Company: IBM
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Creator
- Sakura08
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